Производитель – компания TESCAN, Чехия.
Сканирующий электронный микроскоп TESCAN Mira 3 LMU предназначен для получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, информации о составе, строении и некоторых других свойствах приповерхностных слоёв.
Применяется для исследования форм частиц и морфологии их поверхности, анализа покрытий, шероховатости и волнистости поверхности образцов, анализа пор, волокон с заданными свойствами и проч., при увеличениях от 4-х до 106 крат с ускоряющим напряжением от 200 В до 30 кВ. Используемый Катод Шоттки высокой яркости позволяет получать изображения с высоким разрешением, высокой контрастностью, низким уровнем шумов.
Данная модель так же позволяет работать не только с высоким, но и с переменным вакуумом в камере образцов и может исследовать непроводящие образцы в их естественном состоянии, без необходимости напыления токопроводящим слоем.
Кроме этого, СЭМ имеет несколько дополнительных модулей:
- EDX X-max 80 – энергодисперсионный спектрометр, производства компании Oxford Instruments, с активной площадью кристалла 80 мм2. Позволяет проводить локальное определение химического состава изучаемого образца, составлять карты распределения химического состава и проч;
- EBSD HKLNordlys – детектор для анализа картин дифракции отраженных электронов производства компании Oxford Instruments. Позволяет анализировать структуру, текстуру и химический состава образцов и материалов, в том числе ориентацию кристаллов в пространстве, размер зерен и проч.
